荷兰为什么敢和咱们硬碰硬?大家都觉得是有美国撑腰,错了!这都是重要原因是荷兰仗着自己在半导体产业链的特殊位置,飘了!毕竟荷兰手里攥着阿斯麦,全球高端光刻机几乎被它垄断,这让荷兰觉得自己有“拿捏别人的资本”。 1971年开始,飞利浦团队研发光刻技术十多年,技术虽有突破但成本极高,无法推向商业市场。1984年,飞利浦高层看着光刻部门连年亏损,决定不再投入资金。当时市场上美国吉欧赛公司和日本尼康占据主要份额。 飞利浦打算把技术打包卖掉,找了多家美国设备企业谈判,没有任何一家企业愿意接手。眼看研发团队就要解散,荷兰先进半导体材料国际公司提议双方各出资一半成立合资公司。1984年4月1日,阿斯麦正式挂牌成立。成立初期办公条件极差,几十名员工挤在飞利浦厂区临时搭建的预制板棚屋里干活,研发资金极度短缺。 1988年半导体行业出现严重衰退,老牌企业吉欧赛险些破产。先进半导体材料国际公司资金链断裂,无力再给阿斯麦注资,飞利浦也在大幅削减内部开支,准备直接撤资。 阿斯麦时任首席执行官斯密特跑到飞利浦董事会,硬是求来了1亿美元的资金。拿到这笔钱后,阿斯麦在1991年造出了PAS 5500型号设备,凭借该设备勉强在市场上生存下来,排在尼康和佳能之后。 二十一世纪初,行业面临技术极限。设备厂商计划将光源波长推进到157纳米。尼康和佳能投入大量人力物力研发157纳米干式光刻机。台积电华裔工程师林本坚提出了截然不同的技术路线。 林本坚认为可以在镜头和硅片之间注水,通过水的折射,让193纳米的光等效达到132纳米。林本坚带着方案跑遍美国、日本、德国拜访设备厂商。美国大厂高层听完汇报,心里觉得荒谬,当面拒绝使用这项技术,甚至写信要求台积电阻止林本坚继续推销。 林本坚最后找到阿斯麦。阿斯麦管理层内部开会分析后认为,跟着尼康做157纳米无法取胜,决定采用林本坚的方案。阿斯麦与台积电联手,仅用一年时间制作出测试样机。 2003年10月,阿斯麦交附首台浸没式光刻设备。2004年,尼康还在展出157纳米的测试样机,阿斯麦的技术已经完全成熟量产。到2007年,阿斯麦占据了超过60%的市场份额,导致尼康彻底退出高端市场。 浸没式技术成熟后,芯片工艺向更小尺寸演进,极紫外光技术成为必经之路。研发极紫外光设备难度极大,需要在真空室里,用极光以每秒五万次的频率精准轰击空中飞行的锡珠,激发出波长13.5纳米的极紫外光。光线还要穿过极度平整的反射镜,精准打在硅片上。 设备的底层逻辑代码极其庞大,核心代码达到4500万行,周边配套代码超过2亿行。没有任何现成的商用模块可以采购。编写人员既要懂C语言和汇编,还要把光学衍射、热胀冷缩、真空污染物控制等物理学公式直接转化为软件算法程序。阿斯麦联合上下游供应商投入十几年时间,耗费数十亿欧元,依然没能彻底攻克极紫外光的技术难点。 2012年,阿斯麦研发资金短缺。台积电、英特尔和三星这些大客户急需极紫外光技术,却都在观望,谁也不想做第一个测试品。阿斯麦管理层提出向三大客户开放股份换取研发资金的方案。英特尔决定出资41亿美元,拿下阿斯麦15%的股份并注资研发。 三星随后花2.76亿欧元支持研发,并用5.03亿欧元购买3%的股份。台积电也掏出14亿美元。三家企业总共投入约38.5亿欧元,获得了阿斯麦约23%的股份,但均不干涉阿斯麦的实际运营管理权。 这笔巨额资金让阿斯麦完成了极紫外光刻机的最终研发制造。这种复杂的机器仅仅是组装调试就需要花掉一整年时间。2017年,阿斯麦向台积电交付首台商用极紫外光刻机。台积电拿到设备后,迅速在5纳米留片生产上占据绝对主导地位。 英特尔和三星也凭借此前的投资获得了优先采购设备资格。阿斯麦借此控制了全球极紫外光刻机供应市场,各家芯片代工厂只能把大笔定金提前打给阿斯麦,排队等待设备发货。荷兰正是凭借阿斯麦手里的光刻机设备,牢牢把控住了半导体产业链的生产环节。
