【豆包回答的国产EUV光刻机进度[赞][赞][赞]】 截至2026年3月，新凯来

【豆包回答的国产EUV光刻机进度[赞][赞][赞]】 截至2026年3月，新凯来EUV光刻机仍处于技术验证与样机试产阶段，尚未实现整机量产。以下为最新权威信息汇总： 一、技术路线与型号 型号：Hyperion-1（EUV） 光源：激光诱导放电等离子体（LDP），绕开ASML的LPP（激光产生等离子体）路线 目标波长：13.5nm（标准EUV） 二、当前进度（2026年3月） 阶段：技术论证+产线试产（2025Q3–2026Q2） 验证产线：中芯京城**200mm（8寸）**产线 性能（公开数据）： 产能：10片/小时 良率：约70% 光源效率：3.42%（ASML约6%） 目标：完成13.5nm波长穿透与5nm制程验证 三、近期规划（2026年） 2026Q1：推出Hyperion-2样机，功率提升至150W 2026年底：完成全流程适配，目标150片/小时，支持3nm DRAM/2nm SRAM验证 2026年：规划年产50台（需官方确认） 四、与DUV路线的关系 新凯来当前主力是DUV+SAQP，可实现等效5nm制程，已在中芯国际验证、良率85%，计划2026年量产。EUV为长期战略，与DUV并行推进。 五、关键说明 以上为公开/行业信息，非官方最终数据，存在调整可能。 距离成熟量产、良率稳定、大规模交付仍有关键技术与工程化挑战。 需要我把新凯来EUV与ASML当前EUV的关键指标做个简明对比，帮你更直观地看差距吗？