“韬定律”本质上是在先进制程受限的现实下，试图通过DUV多重曝光、架构优化和

春蕴评趣事 2026-05-26 08:29:21

“韬定律”本质上是在先进制程受限的现实下，试图通过 DUV 多重曝光、架构优化和系统级协同，尽量逼近 EUV 先进制程的性能效果。

就是将一个不得不的被动次优选择包装成所谓技术进步和独立自主！试图用（不考虑量产和良率）中低端的duv光刻机成熟制成通过多重曝光等技术来实现高端的 euv 光刻机先进制成

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