半导体设备概念股（精简版）一、平台龙头- 北方华创：全品类覆盖，14nm量产、5nm验证- 中微公司：刻蚀/MOCVD双龙头，5nm进台积电二、前道核心设备- 刻蚀：中微、北方华创、屹唐股份- 薄膜沉积：拓荆科技（PECVD龙头）、北方华创、微导纳米- 光刻相关：芯源微（涂胶显影）- 清洗：盛美上海（5nm验证）、北方华创- CMP抛光：华海清科（唯一量产）- 量检测：中科飞测、精测电子、长川科技- 离子注入：万业企业三、后道封测设备- 长川科技：全平台测试设备- 华峰测控：测试机龙头- 金海通：分选机四、核心零部件- 富创精密（7nm覆盖）、江丰电子（靶材）、安集科技（抛光液）五、国产化进度- 高替代：刻蚀、清洗- 中替代：薄膜沉积、CMP- 低替代：光刻、量检测、离子注入（信息仅供参考，不构成投资建议）
