【光刻机】国产光刻机重大进展！浸没式设备预计明年第一季度进厂根据产业链最新验证，

无事正经 2025-12-16 17:33:51

【光刻机】国产光刻机重大进展！浸没式设备预计明年第一季度进厂根据产业链最新验证，国产浸没式光刻机的验证工作进展顺利。参数匹配的后续设备有望于2026年第一季度交付进厂。这一进展将国产高端光刻机实现突破的预期，从一个远期展望拉近至短期即可验证的节点，是半导体设备国产化的关键一步。中芯（作为国内晶圆代工龙头，是国产先进光刻机的最直接需求方与受益者），汇成真空/波长光电/茂莱光学（作为光刻机真空、光学等核心零部件供应商，将直接受益于国产整机突破带来的订单放量与价值重估）

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