1976年9月由国营建光机器厂（军工代号4503厂，宝鸡81号信箱）制造的H94

春蕴评趣事 2025-12-05 14:25:53

1976年9月由国营建光机器厂（军工代号4503厂，宝鸡81号信箱）制造的H94-22型半自动光刻机，编号003属于该厂早期量产的机型，是中国第一代实用化的半导体光刻机

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